硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) MKY2279
GBW13701—GBW13708是參照原美國NBS(現(xiàn)為NIST)的標(biāo)準(zhǔn),以硅為原材料,通過特殊工藝研制而成的標(biāo)稱值不同的一套硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)片。本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)一般用于檢定和校準(zhǔn)制造和使用中的電阻率(方阻)測試儀。GBW13709—GBW13710則是用于校準(zhǔn)擴(kuò)展電阻測量系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)片。
電阻率樣片規(guī)格一般為直徑2英寸(51mm)— 4英寸(100mm),厚度500?m—650?m的圓片(Wafer),包裝為帶標(biāo)簽的標(biāo)準(zhǔn)幣式單片晶圓包裝盒。擴(kuò)展電阻樣片規(guī)格一般為3mm×5mm矩形薄片,包裝為帶標(biāo)簽的獨(dú)立自封袋。
硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) MKY2279
GBW13701—GBW13708是參照原美國NBS(現(xiàn)為NIST)的標(biāo)準(zhǔn),以硅為原材料,通過特殊工藝研制而成的標(biāo)稱值不同的一套硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)片。本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)一般用于檢定和校準(zhǔn)制造和使用中的電阻率(方阻)測試儀。GBW13709—GBW13710則是用于校準(zhǔn)擴(kuò)展電阻測量系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)片。
電阻率樣片規(guī)格一般為直徑2英寸(51mm)— 4英寸(100mm),厚度500?m—650?m的圓片(Wafer),包裝為帶標(biāo)簽的標(biāo)準(zhǔn)幣式單片晶圓包裝盒。擴(kuò)展電阻樣片規(guī)格一般為3mm×5mm矩形薄片,包裝為帶標(biāo)簽的獨(dú)立自封袋。